苏州柏伦斯智能科技有限公司

所属行业：机械

单位性质：企业

联 系 人：张亚雯

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所在地市：江苏省,苏州市,工业园区

企业介绍

项目中研发的两款超精密运动台目前已经完成第一代样机的研制。2023年1月至2024年末计划新增产值600万元，实际新增产值676万元。晶圆运动台的定位精度经过激光干涉仪测量目前达到了400nm，重复定位精度达到了200nm。光耦合运动台全部采用气浮方案，重复定位精度达到了50nm，指标上来看初步达到了预期，目标客户已经开始试用。目前产品在装调方面存在调试周期长，安装复杂的问题，考虑到明年800G的光通讯要大规模使用，目前的技术方案量产会比较困难，正在调整工艺，同时新的更适于量产的技术方案正在研制中。