企业介绍
陛通半导体设备(苏州)有限公司为上海陛通半导体能源科技股份公司设立控股合资子公司;陛通半导体设备(苏州)有限公司主要从事研发制造具有自主知识产权的半导体高端装备 12 英寸等离子化学气相沉积薄膜整机设备、8 英寸反应离子物理溅射薄膜 RiD 整机设备、8 英寸通用型磁控溅射薄膜整机设备,以及进口 12 英寸、8 英寸半导体设备再制造和半导体相关精密制造专用自动化装备为主体的高科技公司。
自2020年成立至今,一共取得含有发明专利、实用新型专利、软件著作权等自主知识产权10余项。2021年顺利通过ISO90001质量体系认证。2023年通过高新技术企业认证。