企业介绍
公司成立于2020年6月,2023年通过高新技术企业认定。主要从事半导体真空薄膜设备的设计、开发、制造和销售,致力于高效太阳能电池技术的产业化,专注于高端光伏设备的研发与创新。
公司研发的PECVD真空镀膜设备运用于异质结电池制备过程中微晶硅膜层的沉积,是行业内唯一一家完成单体GW级产能的大型团簇式PECVD真空镀膜设备出货的设备公司。
公司技术领先,在电场、气流场、温度场的结构设计领域领先行业,具备工艺及材料的自主研发能力,在多个领域填补国内空白。公司在PVD磁控溅射领域亦有丰富的技术积累,多项技术实现国内首创,高端PVD产品覆盖新能源多个场景。