扬州思普尔科技有限公司

所属行业：

单位性质：企业

联 系 人：王永芳

联系电话：请登录后查看

所在地市：江苏省,扬州市,邗江区

企业介绍
一、特色：思普尔是一家半导体芯片生产装备研发制造及整线技术输出的国家高新技术企业，主要产品有湿法、热处理、等离子、涂胶/显影以及PVD溅射等产品，拥有完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据不同工艺等级的客户要求量身定制，广泛应用于半导体芯片生产的多个领域。 二、核心技术：1.利用Marangoni脱水干燥技术，解决传统技术不适用于超薄晶圆干燥的问题，实现晶圆厚度为120-250微米的清洗干燥要求。2.区域温控管理方法以及热电偶数据对比技术，实现立式炉±1度以内的温度控制。 三、平台：建有省工程技术研究中心、省外国专家工作室等平台，2022年获批省专精特新中小企业。