无锡探微电子科技有限公司

所属行业：

单位性质：企业

联 系 人：刘明明

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所在地市：江苏省,无锡市,惠山区

企业介绍
探微电子致力于半导体晶圆RCA湿法清洗工艺流程、技术、装备及服务的研发，已通过国家高新企业认定；企业自建半导体晶圆清洗装备技术研发中心，与苏州科技大学产学研合作，研发了半导体晶圆RCA湿法清洗工艺方法，应用于核心产品——半导体晶圆RCA湿法清洗装备，首创了多模块微纳米自适应晶圆清洗工艺、高精度多角度晶圆清洗组件、晶圆表面缺陷智能视觉检测技术、RCA湿法清洗装备物联平台等关键技术，该装备已在扬杰电子科技股份、中科渝芯、赛美达半导体等行业龙头企业应用，替代了日本思可林集团的RCA湿法清洗装备、填补了国内空白，减少了清洗药剂的用量、降低了用户清洗成本，提高了装备可靠性。