企业介绍
公司成立于2014年,是国内最早从事半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门研发的高科技企业。主导产品进入深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司、通富微电子股份有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司。
主导产品半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门既是阀门技术领域的补短板产品,也是我国半导体产业发展受制于国外的瓶颈之一。公司自主研发半导体工厂用全自动防倒灌插板阀门,阀门打开状态时,可形成直通通道,不改变气体流向,同时保持通道尺寸的独特设计,不会影响Pump本身的抽速,使阀门拥有更好的使用寿命和稳定性。技术水平达到国际先进,打破了该类产品依赖进口的局面。拥有有效专利18件(其中:发明专利1件)。