企业介绍
公司是一家半导体芯片制造及光电面板核心干法刻蚀零部件研发及生产的企业。目前拥有自主研发和制备高纯氧化钇、氧化铝、SP系类等陶瓷熔射粉体以及大功率等离子熔射设备3台;小功率熔射设备2台;超音速熔射设备1台;EB-PVD设备1台;冷喷涂设备1台。公司在光电中ICD、YAC、TEL机台及半导体行业中应用材料和Lam公司机台的涂层再生,零部件新品设计研发、生产制造、部件清洗和氧化等具有配套完善全产业链配套服务和专业丰富的技术及经验。同时,拥有在各类氧化物陶瓷悬浮液的储备技术及经验,一条完整的零部件清洗、包装流水线、一整套从热喷涂粉末至陶瓷涂层的分析化验系统,能为客户提供完善优质的涂层和制备解决方案。